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光柵式位移傳感器

光柵式位移傳感器是利用計(jì)量光柵的莫爾條紋現(xiàn)象進(jìn)行位移測(cè)量的，主要由光源、標(biāo)尺光柵、指示光柵和光電器件等部件組成，光電器件接收到莫爾條紋光強(qiáng)信號(hào)經(jīng)電路處理后可得到兩光柵的相對(duì)位移。測(cè)量范圍為0.001~10m；測(cè)量精度達(dá)到0.2~1μm/m；優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量精度高、量程大、響應(yīng)快、輸出為數(shù)字量、易于實(shí)現(xiàn)數(shù)字化測(cè)量和自動(dòng)控制、具有較高的抗干擾能力、可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)測(cè)量等；缺點(diǎn)是對(duì)環(huán)境要求高、成本高、當(dāng)自身膨脹系數(shù)與被測(cè)量物體不一致時(shí)，易造成測(cè)量誤差等。